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采用多尺度准连续介质法分别模拟无缺陷和具有初始缺陷两种状态下，单晶Al薄膜纳米压痕初始塑性变形过程，得到载荷-位移响应曲线和应变能-位移变化曲线．研究了初始缺陷对纳米压痕过程中位错形核与发射、Peierls应力以及位错发射．临界载荷的影响．结果表明，在整个纳米压痕过程中出现了多次位错形核与发射现象，初始缺陷对第1和第3对位错的形核与发射影响较小，而对第2对位错的形核与发射具有明显的推迟作用，并伴随有裂纹扩展现象；由于初始缺陷引起薄膜材料内部严重的晶格畸变，导致系统应变能和位错运动的Peierls应力增加；