【摘 要】
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硅基电子气体是太阳能光伏、光通讯、集成电路产业的基础原材料,近年来市场需求量日益增长,国产化趋势显著。重点分析了硅基电子气体的物理化学性质、危险特性,结合硅基电子
【机 构】
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洛阳中硅高科技有限公司,多晶硅制备技术国家工程实验室,中国恩菲工程技术有限公司
【基金项目】
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郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)
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硅基电子气体是太阳能光伏、光通讯、集成电路产业的基础原材料,近年来市场需求量日益增长,国产化趋势显著。重点分析了硅基电子气体的物理化学性质、危险特性,结合硅基电子气体的生产制备设备及工艺,分析系统不同阶段下的风险隐患,针对性制定有效的管控措施,包括设备安全管控和生产安全管控等。通过各种有效安全管控措施,确保硅基电子气体生产、检测、储存、充装及运输等过程的本质安全。最后展望了硅基电子气体安全生产的发展趋势和方向。
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