SnO_2半导体陶瓷酒敏元件选择性和欧姆接触研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aa70533028
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在SnO_2主体材料中添加某种硝酸盐溶液浸泡过的α-Al_2O_3,可制成对乙醇蒸汽灵敏度高,对H_2,CO,CH_4和汽油蒸汽灵敏度很低,即选择性好的酒敏元件。采用金属-n~+-n半导体结构来实现金属电极和SnO_2半导体陶瓷之间的欧姆接触,能有效地抑制元件的金-半接触所引起的不良影响,对于提高元件性能的一致性和成品率有重要作用。本文研究了硝酸盐溶液浓度和元件灵敏度、选择性、最佳工作温度的关系。研究了不同结构的金属电极-SnO_2半导体陶瓷接触对元件性能的影响。 Addition of a-Al 2 O 3 soaked in a nitrate solution to the SnO 2 host material can produce a wine-sensing element which has high sensitivity to ethanol vapor and low sensitivity to H 2, CO, CH 4 and gasoline vapor, ie, good selectivity. The metal-n ~ + -n semiconductor structure to achieve ohmic contact between the metal electrode and the SnO 2 semiconductor ceramic can effectively inhibit the adverse effects caused by the gold-semi-contact of the device, so as to improve the consistency and yield of the device performance Have an important role. In this paper, the relationship between the concentration of nitrate solution and the sensitivity, selectivity and optimum working temperature of the element is studied. The influence of different structures of metal electrodes-SnO 2 semiconductor ceramic on the performance of the device was studied.
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