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建立了一套半工业性两塔真空变压吸附制氧试验装置，提出了2种循环操作时序，循环一的特征在于具有同时逆向抽真空与清洗、同时逆向抽真空与均压升2个重叠步骤；循环二具有同时逆向抽真空与清洗、同时进气升压与均压升2个重叠步骤。试验结果显示，采用13LiX沸石分子筛，2种循环流程获得体积分数为92．1％的氧气时，回收率分别达到58．9％和64．8％，氧气产率分别为80．9m^3／（h·t）和86．3m^3／（h·t）。在较低压比的情况下，2种不同循环流程均能获得较好的制氧性能，吸附塔的最高吸附绝对