Effect of Annealing Temperature on the Formation of Silicides and the Surface Morphologies of PtSi F

来源 :材料科学技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxllxp

【摘要】

：

The effect of annealing temperature on the formation of the PtSi phase, distribution of silicides and the surface morphologies of silicides films is investigate

【作者】

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Jinghua YIN

【出处】

：

材料科学技术：英文版

【发表日期】

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2001年1期

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