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【正】 一、前言随着精密加工技术的进步,现在已能制造出1μm以下的亚微米级微型模板,这就需要在生产现场实时测量模板的尺寸。当被测模板是由反射率不同的几种材料构成时,大多采用检测反射率引起的反射光强度变化的方法,为了
用激光扫描的共焦检测法测量亚微米尺寸
【摘 要】
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【正】 一、前言随着精密加工技术的进步,现在已能制造出1μm以下的亚微米级微型模板,这就需要在生产现场实时测量模板的尺寸。当被测模板是由反射率不同的几种材料构成时,大
【出 处】
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国外计量
【发表日期】
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1993年2期
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