激光钻孔技术对氮化镓LED特性的影响

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:battichen
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研究利用激光钻孔技术应用于氮化镓发光二极管,是利用高能激光束将蓝宝石基板打出孔洞,并在孔洞内壁蒸镀金属层薄膜,藉以利用金属导热良好的特性,将表面热能传导至基板,并利用封装技术配合,使得热能顺利从底座散去,降低热效应带来的影响。通过实验获得:在注入电流700mA下,打孔较未打孔的氮化镓发光二极管,光输出功率增加约77%;在操作电流350mA注入下,打孔较未打孔的氮化镓发光二极管,散热效率约增加15%。
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