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Ti-X-N (X=Al， Si 或 Al+Si ) 涂层被 cathodic 弧蒸发种到 cemented 碳化物底层上。涂层的坚硬被 nanoindentation 获得，微观结构被 XRD， XPS 和 SEM 调查。在坚硬的稳固的答案变硬结果为 TiAlN 为锡从 24 GPa 增加到 31.2 GPa。为 TiSiN 的 36.7 GPa 和为 TiAlSiN 的 42.4 GPa 的更高的坚硬值被 Si 的加入由于特殊三维的网络结构由锡(TiAlN ) 在一个非结晶的(a) Si3N4 矩阵阶