【摘 要】
:
目的研究不施加基片温度和固定Ar/N2流量比为64/16的条件下,微脉冲占空比、充电电压特征工艺参数与负偏压对NbN涂层相组成、微结构和力学性能的影响。方法采用高功率调制脉冲
【机 构】
:
大连理工大学材料科学与工程学院表面工程实验室
【基金项目】
:
国家自然科学基金(51575077,51601029,U1508218).
论文部分内容阅读
目的研究不施加基片温度和固定Ar/N2流量比为64/16的条件下,微脉冲占空比、充电电压特征工艺参数与负偏压对NbN涂层相组成、微结构和力学性能的影响。方法采用高功率调制脉冲磁控溅射技术(MPPMS),通过控制微脉冲占空比、充电电压和负偏压等特征工艺参数,沉积一系列具有不同相组成的NbN涂层,通过X射线衍射仪、纳米压痕仪和维氏硬度计,分别表征NbN涂层的相组成、结构、硬度和韧性,并通过扫描电子显微镜(SEM)对NbN生长形貌和压痕形貌进行观察分析。结果改变微脉冲占空比和充电电压,所有NbN涂层均由δ-Nb
其他文献
妊娠期肝内胆汁淤积症(ICP)是妊娠期特有的并发症,常发生于妊娠中、晚期,是以胆汁淤积为特征的疾病,主要表现为皮肤瘙痒和生化性胆汁淤积,持续至分娩,产后很快消失或恢复正常
目前意外伤害已成为我国0~14岁儿童死亡的首位原因[1].据不全统计,我国儿童每年因意外伤害导致死亡者达9万多人,残疾达75万多人,因此总结我国目前小儿创伤的现状对预防小儿意
<正> 塔什塔戈尔磁铁矿床赋存于侵入在变质板岩岩层的正长岩侵入体中。侵入岩是花岗岩、正长岩、闪长斑岩、辉长斑岩和各种脉石。松散的沉积层是粘土岩,在某些地段,其厚度达1
混合单克隆抗体检测包虫病人循环抗原景涛,哈小琴,曹和洵为了同时提高包虫病人血清循环抗原检测的特异性和敏感性,我们以单一单克隆抗体铺底,多个单克隆抗体混合作为后续捕捉抗体
目的提高镁合金的耐腐蚀性能。方法利用恒电流沉积的方法在AZ31镁合金表面制得铝镀层,利用光学显微镜及扫描电子显微镜等检测手段观察镀层的微观形貌、腐蚀形貌等,并用开路电
笔者自1997年8月以来,运用推拿结合理疗治疗第3腰椎横突综合征86例,取得满意效果,现报道如下.1 临床资料1.1 一般资料本组86例中,男34例,女52例;年龄23~45岁;病程3个月~2 a.查
本文报道广州市石化厂1988年1月至1993年7月异常孕产调查结果。在659例围产儿中,异常孕产140例,发生率21.4%。随机抽取其中56例自然流产作了1∶2配对病例-对照调查,用条件Logistic回归作单因素和多因素分析。结果表
清朝著名文学家袁枚在《随园诗话》中曾说过:"诗宜朴不宜巧,然必须大巧之朴"。"大巧之朴"历来是中国艺术追求的最高境界之一,借用到纪录片的创作中,也能帮助我们在实际操作中得心
目的在现有医用钴基合金材料中加入铜元素,使用选择性激光熔化技术(selected laser melting,SLM)制得一种新型含铜钴基合金,并检测其生物相容性。方法以SLM技术制得的新型含