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采用等离子体气相凝聚技术制备了银纳米团簇颗粒，开展了实验条件及工艺参数对团簇平均粒径和粒径分布的影响。利用四极质谱分析仪在线测量了银纳米团簇的粒径尺寸与分布，并与透射电子显微镜（TEM）离线测量值进行比对。研究结果表明：保持其他参数不变时，增大结露区长度或溅射电流，银纳米团簇的平均粒径尺寸将增大；增加氩气流量，银团簇粒子平均粒径也相应增大，但当氩气流量增至60mL／min以上时，其平均粒径反而会减小。而氦气的加入会使平均粒径尺寸减小。在各工艺参数中，溅射电流和氩气流量是影响银纳米团簇平均粒径的主要因素。通