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采用直流励磁性溅射法制备Nd2Fe14B稀土磁薄膜。通过对衬底预热，在溅射过程中持续动态加热并保湿10min，实现定向沉积。主要考虑了该方法对薄膜磁性能的影响。结果表明薄膜取向度良好，有明显柱状生长迹象。薄膜矫顽力大磊提高，H1/HII比值改善。在预热湿度200℃逐渐加热到500℃并保湿10min时，薄膜磁性能最佳。