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超精密加工的轮廓精度控制直接影响到工件的加工精度，交叉耦合控制算法通过对两轴进行协调而影响轮廓控制精度。文章在分析超精密数控机床误差模型的基础上，将变增益交叉耦合控制算法引入超精密空机床的伺服控制，实验结果表明：变增益交叉耦合控制算法可以在不改变位置环的情况下，有效地提高系统的轮廓精度。
交叉耦合算法的超精密数控机床伺服控制
【摘 要】
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超精密加工的轮廓精度控制直接影响到工件的加工精度，交叉耦合控制算法通过对两轴进行协调而影响轮廓控制精度。文章在分析超精密数控机床误差模型的基础上，将变增益交叉耦合控
【机 构】
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国防科技大学
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2000年7期
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