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Ta2O5压电薄膜声表面波性能的测量
Ta2O5压电薄膜声表面波性能的测量
来源 :压电与声光 | 被引量 : 3次 | 上传用户:rita88ye
【摘 要】
:
根据叉指换能器等效电路模型,用阻抗法测量了五氧化二钽(Ta_2O_5)压电薄膜的声表面波(SAW)机电耦合系数和速度,用电压法测量了频率温度系数,并对其测量误差进行了分析。
【作 者】
:
何大珍
【机 构】
:
四川压电与声光技术研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1991年06期
【关键词】
:
TAO
压电薄膜
声表面波
测量
piezoelectric Ta2O5 film
SAW property
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根据叉指换能器等效电路模型,用阻抗法测量了五氧化二钽(Ta_2O_5)压电薄膜的声表面波(SAW)机电耦合系数和速度,用电压法测量了频率温度系数,并对其测量误差进行了分析。
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