熔石英表面缺陷的CO2激光局部修复技术

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熔石英材料因加工产生的表而缺陷是造成其在实际应用过程中抗激光损伤能力下降的主要原因。利用CO2激光对石英表而特征缺陷进行定点局部高温熔融修复的技术研究,结果发现这种熔融修复可明显减小熔石英表面缺陷尺度并改善缺陷内结构质量。通过对修复后的表面缺陷进行损伤阈值考核发现,熔石英表面200nm深度左右的划痕在修复后损伤阈值提升1倍左右,横向尺度10~100μm内的表面初始坑状损伤点的损伤扩展阈值和相同辐照通量下的抗辐照次数也获得明显提高,从而证实了利用CO2激光局部定点修复以提高熔石英负载能力、延长使用寿命的可行性。 The defects of the table caused by the processing of fused silica material are the main reasons for its resistance to the laser damage in practical application. Using CO2 laser to study the local hot spot fusion of quartz, the results show that the melt repairing can significantly reduce the scale of the surface defects and improve the quality of the defects. Through the damage threshold assessment of repaired surface defects, it is found that the damage threshold at the depth of about 200nm on the surface of fused silica increases by about 1 time after repairing, and the initial damage threshold at the initial scale of 10-100μm Under the same radiation flux, the number of anti-radiation was also significantly improved, thus confirming the feasibility of local fixed-point CO2 laser repair to improve the load capacity of fused silica and prolong the service life.
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