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本文导出了离子束蚀刻固体表面形貌发展的一般方程,利用非线性方程的特征曲线解法,建立了离子束蚀刻固体表面形貌发展的三维理论,并由该理论导出了Carter等人的二维理论。
离子束蚀刻固体表面形貌发展研究
【摘 要】
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本文导出了离子束蚀刻固体表面形貌发展的一般方程,利用非线性方程的特征曲线解法,建立了离子束蚀刻固体表面形貌发展的三维理论,并由该理论导出了Carter等人的二维理论。
【机 构】
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陕西师大物理系
【出 处】
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陕西师大学报：自然科学版
【发表日期】
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1989年3期
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