论文部分内容阅读
在表面放电ＡＣ－ＰＤＰ中，巴邢击穿特性是决定ＡＣ ＰＤＰ（交流型等离子体）操作范围的最重要因素之一，我们将分别探讨不同电极宽度８０μｍ、１１０μｍ和１４０μｍ下，所充气体为纯Ｎｅ，Ｎｅ－Ｘｅ（１％，２％，４％，７％，１０％）和Ｈｅ－Ｎｅ（２７％）－Ｘｅ（３％）时的击穿和维持电压。在这个实验中，最小击穿电压电极宽度为８０μｍ，混合气体为Ｎｅ－Ｘｅ（１％）时的电压值。对于Ｎｅ－Ｘｅ（２％），Ｈｅ－Ｎｅ