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ＬＩＧＡ技术是纳米微米制造技术中，最有前途，最有生命力的方法，最近几年发展较快本文对ＬＩＧＡ生制造技术做了较全面的介绍，并对光源，光刻胶，电铸机械化学处理及掩模板的制作做了分析介绍，指出在实践中存在的问题。
LLGA工艺技术
【摘 要】
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ＬＩＧＡ技术是纳米微米制造技术中，最有前途，最有生命力的方法，最近几年发展较快本文对ＬＩＧＡ生制造技术做了较全面的介绍，并对光源，光刻胶，电铸机械化学处理及掩模板的制作做了分析介绍，指出在实
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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中国仪器仪表
【发表日期】
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1997年2期
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