环境对双频激光干涉仪测量不确定度的影响

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双频激光干涉仪使用于不同的环境条件下时,由于空气折射率的变化,会使其测量不确定度受到影响。采用计算法进行修正时,要求正确地测定环境参数,如气压、温度、湿度等。本文对于这些参数的测定精度进行了分析,给出了具体的环境参数测定不确定度。 Dual-frequency laser interferometer used in different environmental conditions, due to changes in the refractive index of air, will make its measurement uncertainty is affected. The use of calculation method for correction, requires the correct determination of environmental parameters, such as pressure, temperature, humidity and so on. In this paper, the accuracy of the measurement of these parameters is analyzed, and the uncertainty of the determination of the specific environmental parameters is given.
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