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对电感耦合等离子体原子发射光谱（ＩＣＰ－ＡＥＳ）法测定高纯三甲基镓（９９．９９９９Ｔ，相对于金属镓的含量）中Ｃu、Ｆe、Ｓi、Ｚn等３１种痕量杂质元素的含量进行了研究，考察了基体元素镓对杂质元素的光谱和非光谱干扰以及基体浓度对杂质元素谱线信噪比和检出限的影响在优化的实验条件下，获得了满意的结果。