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本文对硅的电化学自致停腐蚀的原理作了简要分析，利用自制装置实现了硅电化学自致停腐蚀，成功制备出符合光波导要求的ＳＯＩ片。
硅的电化学自致停腐蚀研究
【摘 要】
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本文对硅的电化学自致停腐蚀的原理作了简要分析，利用自制装置实现了硅电化学自致停腐蚀，成功制备出符合光波导要求的ＳＯＩ片。
【机 构】
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西安交通大学电子工程系
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1995年3期
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