脉冲激光沉积法(PLD)制备InGaN薄膜的膜厚分布特征

来源 :广西科学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nn18
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
【目的】探究脉冲激光沉积法(PLD)制备InGaN薄膜时薄膜的厚度分布规律,以便于能够改善薄膜的均匀性。【方法】在实际情况中,靶材和基片并不平行,取任一无限小面积元近似作为平行靶材时的情况来分析,研究此处各项等效参数即可得到该处的膜厚。【结果】当靶材与基片的倾斜角为0°时,靶材激光照射点处的法线与基片相交处的膜厚度最大,以该点为中心,基片两侧膜厚呈对称分布,且越远离基片中心点,膜的厚度越小;当靶材与基片的倾斜角不为0°时,基片左右两侧膜厚不对称分布,靠近靶材一侧的薄膜厚度大于远离靶材一
其他文献
经济的飞速发展带动了医疗卫生事业的进步,我国现今已基本上实现了全民医疗保险,这使得患者的自付费用比例得到大幅降低.对患者而言,其就医选择行为与医保紧密相关,尤其是差
前言作用于踵部的水平土压力[图1(a)],对悬臂式挡土墙的倾覆稳定计算因其对基础底部力臂短而无多大的实际意义,但对于滑动计算,这个力在总荷载中是一个很重要的分量,作用于踵
厦门房地产市场的火爆直接带动了建材家居业的飞速发展。江头将成为厦门的次中心,其商圈转型热在必行,厦门目前的建材家居市场将面临重新洗牌的局面。随着吉家家世界建材家居商
皖赣线尚有很多裸露已久、风化严重的堑坡没有加固处理,本文介绍一种已在该线采用的加固施工工艺,即锚—网—喷工艺,并就检算、工艺、设备、劳力组织作一介绍,并举实例说明。
绿洲人家,北依众山,南傍闽江。江中绿岛静卧,岛上绿草茵茵、翠竹葱葱、白鹭点点、牛羊悠然;绿岛内侧渔家撒网,外侧航道方舟穿行;碧水清天,芳草斜阳,行走于这样境界之中,物我两忘,才能真
【目的】石斑鱼虹彩病毒(Singaporegrouper iridovirus,SGIV)是引起华南沿海地区重要海水养殖鱼类石斑鱼(Epinephelustauvina)发生病毒性鱼病的主要病毒性病原之一,其引起的
以林地下的黄壤为载体,采用盆栽试验研究了Pb^2+、Cd^2+胁迫作用下接种蚯蚓、菌根菌以及二者联合接种状态下对植物修复的影响。结果表明,蚯蚓可显著提高植物地上部分的生物量,
根据一项报道指出,估计持有价值63亿元房地产投资组合的一名中国年青富豪奕晓迪(YIXIAO DI译音)表示,喜欢选用澳洲建筑师来为其在中国兴建物业,因为澳洲的有关建筑模式,不但合乎
不难看出,龙岩的商业地产正在悄然兴起,购买商铺投资在现阶段也蔚然成风。随着中国城市商圈半径不断延伸,商铺的类型也逐渐丰富起来,临街商铺,社区商业,商业步行街,专业市场等各种商
古有云:人气旺,必招财气,这句古话现也是开发商业地产的地产商们斟酌投资价值的至理名言。近年来,龙岩中心城市房地产开发以“井喷速度”完成了多次升级。旧城改造,城市扩张,开拓新