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剖析了各种压阻式力敏硅传感器的结 构，介绍了其工作原理和测试方法并， 对力敏硅传感器结构的优劣作出分析， 为合理地选择、应用力敏硅传感器提 供了依据。
压阻式力敏硅传感器的结构剖析
【摘 要】
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剖析了各种压阻式力敏硅传感器的结 构，介绍了其工作原理和测试方法并， 对力敏硅传感器结构的优劣作出分析， 为合理地选择、应用力敏硅传感器提 供了依据。
【机 构】
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吉首大学物理与电子工程系
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2001年07期
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