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利用3D技术列印打造低成本MEMS
利用3D技术列印打造低成本MEMS
来源 :集成电路通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:new37143
【摘 要】
:
当今的微机电系统(MEMS)所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此,晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场,才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求,以及实现商品化的
【出 处】
:
集成电路通讯
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
MEMS
3D技术
低成本
利用
生产成本
微机电系统
制造技术
半导体
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当今的微机电系统(MEMS)所使用的量产制造技术仰赖昂贵的半导体微影设备。因此,晶片的生产通常需要存在一个相当大的市场,才足以涵盖某种特定元件的生产成本要求,以及实现商品化的可能性。
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