基于双锥纳米多孔薄膜的高性能电渗微泵

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yliudl
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
开发了一种具有高流速、长期稳定的低压电渗微泵芯片.该泵由厚度约12 μm、具有高密度双锥纳米孔(孔径约30 nm)的径迹刻蚀薄膜制成.研究证实其可实现低驱动电压(~10 V)下的高电渗流,最大规范化流速约为0.05 mL/ (min· cm2·V),同时产生约2.2 kPa的压力,微泵的高性能主要归因于双锥孔尖端区域的电场聚焦效应.其次,实验表明不同工作溶液体系下流速随外加电压的增加而线性增加,可以通过调控电压大小精确控制流速.在稳定性方面,微泵连续工作3h流速下降约10%,不同微泵间流速差异小于15%,同一微泵日间流速差异小于10%,表明微泵具有较好的稳定性及重复性.
其他文献
做好安全管理工作,首先要重视安全管理工作,建立科学、系统的安全管理制度.实行动态管理,体现安全管理成效.做好安全管理工作,首先要处理好安全与思想的关系,思想是人体的灵
提高栅介质的界面质量和可靠性一直是功率碳化硅金属氧化物半导体(MOS)器件研发的核心任务之一.基于原子层沉积(ALD)技术,在n型4H-SiC上沉积了Al基高介电常数(k)栅介质材料Al
期刊
提出了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)湿度传感器,利用铜环辅助滴铸法在LiNbO3表面制备氧化石墨烯薄膜作为湿度敏感层.建立了声表面波传感器叉指电极的三维传热模型,
采用水热合成法,通过改变反应时间制备了一系列碳包覆银纳米粒子的Ag@C核壳纳米结构,并用其修饰丝网印刷电极制备测定双酚A (BPA)的高灵敏电化学传感器.扫描电子显微镜(SEM)
随着微电子技术、电力电子技术、计算机技术和先进控制理论的发展,交流电机控制技术也得到了快速的发展。尤其在交流电机的控制理论方面,国内外学者提出了矢量控制、直接转矩控
采用水热法成功制备了自组装而成的分级WO3纳米结构,并通过改变工艺参数来实现结构与形貌的调控.研究表明,水热酸碱环境对WO3的形貌特征及相结构的影响显著,弱酸性环境下得到
期刊
基于金刚石氮空位(NV)色心的磁强计,其磁场检测的灵敏度与光探测磁共振(ODMR)的解调曲线最大斜率的倒数呈正比,而解调曲线的斜率主要取决于系统的微波调制参数.对磁强计的灵
随着国内经济的不断向前推进,建筑行业的发展也取得了突出的成就.工程建筑是建筑行业开展的基础,为跟进建筑行业不断创新的脚步,需要不断的掌握市场动态,抓紧发展动向,提高建