扩散硅固体压力传感器

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扩散硅固体压力传感器是七十年代出现的新型仪表组件。本文介绍扩散硅压力传感器的特点及用途,传感器的设计理论和计算方法,压阻器件的设计原理,量程估计的简易公式,以及传感器的性能指标与应用结果等。该传感器经鉴定,精度达到千分之一。 Diffusion silicon pressure sensor is a new type of instrument appeared in the seventies. This paper introduces the characteristics and uses of diffused silicon pressure sensor, the design theory and calculation method of the sensor, the design principle of the piezoresistive device, the simple formula of measuring range, the performance index and the application result of the sensor. The sensor has been identified, the accuracy of one thousandth.
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