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薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状
薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangcongyu003
【摘 要】
:
超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行
【作 者】
:
贾振元
武丹
【机 构】
:
大连理工大学机械工程学院
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
超磁致伸缩
微执行器
薄膜
微型机电系统
giantmagnetostictive
microactuator
thinfilm
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超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件,文章介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理,综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果,重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统、线性超声微马达及微小型行走机械中的应用,并对超磁致伸缩薄膜的微执行器中的应用进行了展望。
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