MBE生长中缓冲层对InSb/GaAs质量影响的研究

来源 :2007年激光技术发展与应用学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ericawanghnu

【摘要】

：

用分子束外延(MBE)方法在GaAs(001)衬底上外延生长了InSb薄膜,并研究了异质外延InSb薄膜生长中缓冲层对材料质量的影响.采用原子力显微镜(AFM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线双晶衍射(DCXRD)等方法研究了InSb/GaAs薄膜的表面形貌、界面特性以及结晶质量.通过生长合适厚度的缓冲层,获得了室温下DCXRD半高峰宽为272",迁移率为64 300 cm2V-1s-1的InS

【作者】

：

李占国刘国军尤明慧熊敏李梅李林

【机构】

：

长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,吉林,长春,130022 长春理工大学,高功率半导体

【出处】

：

2007年激光技术发展与应用学术交流会

【发表日期】

：

2007年11期

【关键词】

：

分子束外延生长 InSb薄膜 GaAs衬底缓冲层材料质量原子力显微镜透射电子显微镜

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