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在追述以往的判断薄膜微结构的结构区模型的基础上，整理和介绍了国外最近提出的结构区模型。它是以离子复合参数Ｅｐ（由到达的离子带给凝聚粒子的平均能量ｅＶ／ａｔｏｍ）为参变量，衡量该参数对薄膜微结构及其特性的影响，对今后设计ＰＶＤ设备和更好地掌握工艺条件，将会是有益的。
离子参数对物理气相沉积薄膜微结构的影响
【摘 要】
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在追述以往的判断薄膜微结构的结构区模型的基础上，整理和介绍了国外最近提出的结构区模型。它是以离子复合参数Ｅｐ（由到达的离子带给凝聚粒子的平均能量ｅＶ／ａｔｏｍ）为参变量，衡量该参数对薄膜
【机 构】
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中科院电工研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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1994年4期
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