【摘 要】
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为满足微型显示器对子像素亮度和色度参数的测试需求,本文将显微物镜引入到成像亮度计方案中,利用高分辨率黑白相机、XYZ三色滤光片和显微物镜等器件,设计并研制了一套显微成像彩色亮度计,实现了微米量级目标的测试。对手机屏幕、微型显示器及标准刻线板进行了测试,实验结果表明,当采用3100万像素分辨率相机和50倍显微镜头时,可实现尺寸小于0.1μm的样品亮度色度测试,校准后亮度测试误差小于1%,不确定度为2
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十一研究所,山东青岛266555;厦门市计量检定测试院,福建厦门361004;中电科思仪科技有限公司,山东青岛266555
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为满足微型显示器对子像素亮度和色度参数的测试需求,本文将显微物镜引入到成像亮度计方案中,利用高分辨率黑白相机、XYZ三色滤光片和显微物镜等器件,设计并研制了一套显微成像彩色亮度计,实现了微米量级目标的测试。对手机屏幕、微型显示器及标准刻线板进行了测试,实验结果表明,当采用3100万像素分辨率相机和50倍显微镜头时,可实现尺寸小于0.1μm的样品亮度色度测试,校准后亮度测试误差小于1%,不确定度为2.5%(k=2)。
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