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MPCVD法制备纳米金刚石薄膜的研究及应用进展
MPCVD法制备纳米金刚石薄膜的研究及应用进展
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hanqianghuoer
【摘 要】
:
通过介绍不同气源和相关工艺参数(温度、功率等)对MPCVD法制备纳米金刚石的影响,并对部分学者的研究成果进行简述。然后简要概括了MPCVD纳米金刚石在各种窗口、宽禁带半导体
【作 者】
:
何硕
汪建华
翁俊
刘繁
【机 构】
:
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2016年05期
【关键词】
:
微波等离子体
化学气相沉积
纳米金刚石薄膜
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通过介绍不同气源和相关工艺参数(温度、功率等)对MPCVD法制备纳米金刚石的影响,并对部分学者的研究成果进行简述。然后简要概括了MPCVD纳米金刚石在各种窗口、宽禁带半导体功率器件以及生物医学中的应用,最后对纳米金刚石未来的发展做出展望。
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