【摘 要】
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近场光显微镜（ＮＦＯＭ）是一种高分辩率的扫描探针显微镜。通过对ＮＦＯＭ的发展、原理进行了论述，并提出了一个实用的ＮＦＯＭ系统，完成了从扫描检测到计算机采集处理以及图象处理分析的全部工作。应用该
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近场光显微镜（ＮＦＯＭ）是一种高分辩率的扫描探针显微镜。通过对ＮＦＯＭ的发展、原理进行了论述，并提出了一个实用的ＮＦＯＭ系统，完成了从扫描检测到计算机采集处理以及图象处理分析的全部工作。应用该系统，成功地对光栅、玻璃等样品采集成象，并进行了一些分析。结果表明该系统分辨率达到１００ｎｍ以上，ＮＰＯＭ对非导体材料特别是生物材料有着广阔的应用前景。
Near Field Light Microscopy (NFOM) is a high resolution scanning probe microscope. Through the development of the NFOM, the principle is discussed, and a practical NFOM system is proposed, completing all the work from scanning detection to computer acquisition processing and image processing analysis. The system was used to successfully image and sample grating and glass samples, and some analyzes were done. The results show that the system resolution of 100nm or more, NPOM non-conductive materials, especially biomaterials has broad application prospects.
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