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超高反射率的激光反射镜制造中的波度
超高反射率的激光反射镜制造中的波度
来源 :航空精密制造技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WatsonWen
【摘 要】
:
分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5~30nm,波距为100~150
【作 者】
:
滕霖
任敬心
【机 构】
:
西北工业大学制造工程系,西北工业大学制造工程系
【出 处】
:
航空精密制造技术
【发表日期】
:
1992年6期
【关键词】
:
反射镜基片
表面波度
波度形成
reflector substrate surface waviness formation of surface wavine
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分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5~30nm,波距为100~150μm。还分析了古典抛光法表面波度的形成规律,并给出了实测结果。
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