【摘 要】
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采用热原子层沉积的方法，以三甲基铝（TMA）为铝源，配合H2O、O3及H2O+O3这3种不同的氧化剂制备Al2O3薄膜并研究Al2O3薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和
【基金项目】
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上海市科学技术委员会科研计划项目（17DZ1201102)
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采用热原子层沉积的方法，以三甲基铝（TMA）为铝源，配合H2O、O3及H2O+O3这3种不同的氧化剂制备Al2O3薄膜并研究Al2O3薄膜的生长、元素分布、薄膜结构和表面钝化质量随氧化剂种类和后退火工艺的变化规律。结果表明，H2O基的Al2O3薄膜具有较高的沉积速率及薄膜折射率，同时具有较低的杂质元素浓度和界面态缺陷密度；O3基的Al2O3薄膜则具有较高的固定负电荷密度和较好的热稳定性。通过在O3工艺中加入H2O，可有效降低Al2O3薄膜中杂质元素浓度和界面缺陷态密度，同时保留O3基Al2O3薄膜中较高的固定负电荷密度，从而在钝化性能上兼具两者的优势。
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