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测量微小气压降的微电子传感器

来源 :光机电信息 | 被引量 : 1次 | 上传用户：twpt168

【摘 要】

：

在乌克兰的基辅一家小型企业“CE-HCOP”的O.M.等研究用于测量微小气压降的微电子传感器.他们探讨了高灵敏度微电子热线风速测量传感器的性能,它是用薄膜工艺制作的.传感器能测量在0.004—1500Pa范围的小气压降,或10~(-4)—40ml/s的气流速度.专门研制的传感器仪表模拟变换器在7ms动作速度下,保证在微小气压降区的灵敏度在120mV/Pa水平.自动化的动态工作台使得能够在0.1—5

【作 者】

：

李蓉芳 

【出 处】

：

光机电信息

【发表日期】

：

1996年04期

【关键词】

：

微小气压降 测量 传感器 

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在乌克兰的基辅一家小型企业“CE-HCOP”的O.M.等研究用于测量微小气压降的微电子传感器.他们探讨了高灵敏度微电子热线风速测量传感器的性能,它是用薄膜工艺制作的.传感器能测量在0.004—1500Pa范围的小气压降,或10~(-4)—40ml/s的气流速度.专门研制的传感器仪表模拟变换器在7ms动作速度下,保证在微小气压降区的灵敏度在120mV/Pa水平.自动化的动态工作台使得能够在0.1—500Pa范围内校准传感器.

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