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期刊论文
非晶硅材料及其应用
非晶硅材料及其应用
来源 :山东建材学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wwwzhaozhiqiang
【摘 要】
:
引言随着科学技术的发展,人们对于自然界物质的认识愈来愈深刻。利用自然资源的能力也越来越高,现在人们不仅能利用晶体材料加工和制造成各种各样的电子器件及用品,而且对非
【作 者】
:
刘汝军
【机 构】
:
山东建材学院基础部
【出 处】
:
山东建材学院学报
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
非晶硅
自然界物质
光化学气相沉积
转换效率
能带模型
薄膜淀积
非晶态半导体
溅射法
衬底温度
硅薄膜
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引言随着科学技术的发展,人们对于自然界物质的认识愈来愈深刻。利用自然资源的能力也越来越高,现在人们不仅能利用晶体材料加工和制造成各种各样的电子器件及用品,而且对非晶体材料也进行了开发和应用,并且已取得了十分显著的成效。本文将对非晶硅材料及其主要应用作扼要介绍。
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