【摘 要】
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基于辉光放电发射光谱分析定量原理讨论了影响其分析结果准确性的几个因素:深度剖析中,浓度的定量取决于经溅射率校正的校准曲线是否能够覆盖所有元素的浓度值,必要时需要拓展校准曲线;深度的定量准确性则依赖于加权平均法密度与实际密度间的一致性,相差较大时,可以通过软件或硬件进行修正;样品中存在有机物质时,辉光放电等离子体中的分子谱带对其他元素谱线强度形成干扰,导致分析结果中出现“伪峰”或定量分析结果出现较大偏差,需要根据样品的工艺实际对分析结果进行甄别;比较深度剖析与其他分析技术的定量结果,应考虑镀层均匀性和取样量
【机 构】
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宝山钢铁股份有限公司中央研究院,上海201999
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基于辉光放电发射光谱分析定量原理讨论了影响其分析结果准确性的几个因素:深度剖析中,浓度的定量取决于经溅射率校正的校准曲线是否能够覆盖所有元素的浓度值,必要时需要拓展校准曲线;深度的定量准确性则依赖于加权平均法密度与实际密度间的一致性,相差较大时,可以通过软件或硬件进行修正;样品中存在有机物质时,辉光放电等离子体中的分子谱带对其他元素谱线强度形成干扰,导致分析结果中出现“伪峰”或定量分析结果出现较大偏差,需要根据样品的工艺实际对分析结果进行甄别;比较深度剖析与其他分析技术的定量结果,应考虑镀层均匀性和取样量差异的影响;成分分析的重复性和再现性能够满足金属固体样品快速分析的要求,最新国家标准中的精密度结果令人满意;元素痕量分析时,需要关注谱线发射强度是否大幅降低,长时间溅射低熔点金属或有机物样品少量物质沉积于透镜处是原因之一.
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