【摘 要】
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阐述了一种离子源的新型控制电路。根据离子渗氮炉、离子渗碳炉、离子渗金属炉工况的特点，本电路采用了独特的控制方式，大量使用了性能优良的５５５时基片。该控制电路结构简单，工作可
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阐述了一种离子源的新型控制电路。根据离子渗氮炉、离子渗碳炉、离子渗金属炉工况的特点，本电路采用了独特的控制方式，大量使用了性能优良的５５５时基片。该控制电路结构简单，工作可靠，调整方便，性能优良
A new control circuit of ion source is described. According to the characteristics of ion nitriding furnace, ion carburizing furnace and ion infiltration metal furnace, the circuit adopts a unique control method, and a large number of 555-hour substrates are widely used. The control circuit has the advantages of simple structure, reliable operation, convenient adjustment and excellent performance
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