使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀

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对使用超声搅拌和和不加搅拌时(100)单昌大雨的腐蚀特性进行了研究和对比。使用超声搅拌,可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面,整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm。实验结果表明,该方法可以有效地实现精密KOH各向异性体硅腐蚀。
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