【摘 要】
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介绍了多晶硅产业的发展和研究现状,并针对改良西门子法的多晶硅制备环节,总结和分析了工艺、装备及管理的能耗影响规律,并阐述了节能降耗的方法和措施。工艺方面应在保证三
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介绍了多晶硅产业的发展和研究现状,并针对改良西门子法的多晶硅制备环节,总结和分析了工艺、装备及管理的能耗影响规律,并阐述了节能降耗的方法和措施。工艺方面应在保证三氯氢硅一次转化率的前提下,尽量提高多晶硅的沉积速率,通过适当提高混合气流量和硅棒温度,提高三氯氢硅摩尔比例,提高炉内反应压力,达到降低电耗的效果;装备方面可以选用多对棒还原炉,并优化配套电器系统来确保电耗进一步降低;管理降耗的重点是重视市场的资源配置作用,能够适时根据市场环境及时调整多晶硅质量策略,并尽量降低备件消耗,利用考核和绩效激励方式减少人为浪费。
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