【摘 要】
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为了准确表征微电子机械系统（MEMS）谐振器在大振幅运动时的行为特性,建立了刚度非线性MEMS谐振器集总参数模型,并创建了一整套MEMS谐振器非线性特性的表征方法和测试系统。搭建
【机 构】
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中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,西北工业大学自动化学院
【基金项目】
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总装预研基金资助项目（No.51309030301）, 国家国际科技合作专项资助项目（No.2011DFA72370）
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为了准确表征微电子机械系统（MEMS）谐振器在大振幅运动时的行为特性,建立了刚度非线性MEMS谐振器集总参数模型,并创建了一整套MEMS谐振器非线性特性的表征方法和测试系统。搭建了基于锁相环和自动增益控制的MEMS谐振器闭环工作电路,分析了不同驱动振幅下,MEMS谐振器的工作状态。推导建立了工作振幅、工作频率与MEMS谐振器刚度非线性之间的数量关系。最后,基于衰减模式和稳定振荡模式两种工作形态,实际测量了MEMS谐振器的无阻尼自然谐振频率和刚度非线性。结果显示：无阻尼自然谐振频率和刚度非线性系数的测量重复
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