【摘 要】
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本文报道在制备光伏型InSb列阵探测器时采用BF工艺,使器件的串音率和光敏元边缘效应得到改善的结果。多元列阵器件中的串音现象严重地影响着红外探测系统的灵敏度和红外成象
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所
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本文报道在制备光伏型InSb列阵探测器时采用BF工艺,使器件的串音率和光敏元边缘效应得到改善的结果。多元列阵器件中的串音现象严重地影响着红外探测系统的灵敏度和红外成象的质量。赵文琴等曾用H~+轰击的方法取得了较好的隔离效果,但实际应用有困难。我们采用BF工艺获得了更为满意的结果。实验证实,BF工艺是解决多元列阵器件串音及单元光敏面
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