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采用脉冲电沉积法制备Co—W磁性薄膜。研究脉冲周期和占空比对沉积速率,Co—W薄膜的形貌、结构以及磁性能的影响。结果表明:脉冲周期与占空比对薄膜的沉积速率、形貌、结构和磁性能都有较大的影响。随着脉冲周期和占空比的不断增加,沉积速率呈现先增大后减小的趋势;而Co-W薄膜的矫顽力呈现减小的趋势。这主要是由于晶粒尺寸增大的缘故。AFM研究表明:随着占空比增大,薄膜颗粒增大,表面平整度下降,空隙率增加;脉冲周期影响薄膜表面聚集颗粒团;增大脉冲周期,该聚集团会增大。