【摘 要】
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最近研制与改进的几台CQG-II型车间数字干涉仪除应用于平面及球面的面形测量、获得面形误差PV、RMS或N、ΔN外,还可以广泛地应用于下列几种特殊的应用:(1) 微型光学件的检测:
【机 构】
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浙江大学,,宁波华光精密仪器有限公司,
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最近研制与改进的几台CQG-II型车间数字干涉仪除应用于平面及球面的面形测量、获得面形误差PV、RMS或N、ΔN外,还可以广泛地应用于下列几种特殊的应用:(1) 微型光学件的检测:借助φ60 mm～φ15 mm放大系统可以测量φ1 mm平面; (2) 光学平行平面的透过波面畸变检测; (3) 棱镜角度及面形检测; (4) 非球面检测:低陡度非球面、二次曲面及非球面准直系统; (5) 衍射光检测; (6) 镜头的调制传递函数(MTF)的检测; (7)金属表面(模具)或镀反射膜光学件的检测.仪器的口径为60 mm,平面精度为λ/20,球面精度为λ/10,λ=632.8 nm,对以上的应用均列举了生产实际应用或科研应用的实例.
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