Structure and electronic properties of SiC thin-films deposited by RF magnetron sputtering

来源 :Transactions of Nonferrous Metals Society of China | 被引量 : 0次 | 上传用户:liak19870702
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原文如此薄电影被 RF 磁控管劈啪作响技术(RMS ) 与单身者的目标准备水晶原文如此然后退火。表面形态学薄电影被 AFM 描绘。结果表演表面薄电影光滑、紧缩;XRD 分析表明薄电影是非结晶的。厚度,方形抵抗并且抵抗的曲线—温度被测量。在Δ W 是在 0.014 2 0.018 5 eV 的范围的电子刺激精力的地方,结果证明 InR 对 1/kT 的曲线两个都在退火前后满足 InR ∞Δ W /kT 的表示,并且当温度被增加时,它有增加的一个趋势。在摹拟的分析以后,我们得到结论电子机制薄电影是在在 25
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