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纳米微晶SnO_2薄膜的制备和光学性能的研究
纳米微晶SnO_2薄膜的制备和光学性能的研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chinajolly66
【摘 要】
:
以无机盐为原料制备得到纳米微晶SnO2薄膜。由透射比曲线计算发现,随热处理温度的升高,薄膜的折射率、消光系数均增大。研究表明,掺Ti的SnO2薄膜吸收边的跃迁属间接跃迁,随晶粒尺寸的减小,间
【作 者】
:
林殷茵
刘秦
杨合情
张良莹
姚熹
【机 构】
:
西安交通大学电子材料与器件研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1998年04期
【关键词】
:
光学性能
SnO_2
薄膜结构
纳米微晶
吸收边
二氧化锡
晶粒尺寸
光学常数
射频溅射
石英衬底
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以无机盐为原料制备得到纳米微晶SnO2薄膜。由透射比曲线计算发现,随热处理温度的升高,薄膜的折射率、消光系数均增大。研究表明,掺Ti的SnO2薄膜吸收边的跃迁属间接跃迁,随晶粒尺寸的减小,间接带宽增大。
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