超精密加工的概况与展望(下)

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<正> 4.环境条件的控制势在必行高精度由μm级进入到nm级,对环境的要求更加严格,超精密加工技术最突出的是热变形和微振。在仪表装配领域中特别需要净化,在这几个方面,国内外均不遗余力地在促上去,这是直接关系到产品的质量,不能等闲视之。以德国Zeiss公司的三坐标测量机装配厂为例,整个厂房面积为4000m~2内要求室温20°±0.5℃,在调试部分提高到20°±0.3℃,标定部分又提高到20°±0.1℃,特别是标定厂房系采用水平层流超净工
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