【摘 要】
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用蒙特卡罗方法模拟计算了薄样品中的高能同轴背散射电子的背散射率和厚度衬度. 结果指出:用较大的探测能量窗口和大的探测角可在确保厚度衬度的前提下增强信噪比. 大的入射
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用蒙特卡罗方法模拟计算了薄样品中的高能同轴背散射电子的背散射率和厚度衬度. 结果指出:用较大的探测能量窗口和大的探测角可在确保厚度衬度的前提下增强信噪比. 大的入射能量虽有利于厚度衬度,但不利于提高信噪比. 薄膜沉积在异质衬底上的模拟结果显示,虽然背散射率中包含有衬底材料的信息,但还是膜层厚度的单调变化函数,有可能通过背散射率的测量来判定薄膜厚度.
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