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利用有限元软件HFSS和ANSYS系统研究了串联MEMS开关的微波性能和力学性能与其结构参数之间的关系,并在此基础上优化出悬臂梁开关的几何结构参数,设计了RF MEMS开关,实验表明:在外施电压为10V左右时,悬臂梁的挠度可达3μm左右,5GHz时,回波损耗小于0.2dB,隔离度大于35dB.
RFMEMS悬臂梁开关的设计与仿真
【摘 要】
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利用有限元软件HFSS和ANSYS系统研究了串联MEMS开关的微波性能和力学性能与其结构参数之间的关系,并在此基础上优化出悬臂梁开关的几何结构参数,设计了RF MEMS开关,实验表明:
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2009年9期
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