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系统研究了在02氛围中不同的热处理温度对FTO薄膜结构、形貌和光电性质的影响.结果表明,当退火温度较低时,样品的结晶度、可见光透过率和导电性均随退火温度的升高而升高;随着退火温度的进一步升高,样品的光电特性开始变差.当退火温度为300 ℃时,得到了具有最低电阻率和最高可见光透过率的样品,其室温电阻率为2.97×10^-4Ωcm,可见光透过率达83％.