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简要地比较了ＣｌＦ３和ＢｒＦ５两种常规氟化法的优缺点。在此基础上介绍了激光氟化法（又称激光探针法）的主要构成和特点以及激光探针法的分析精度和分析不同矿物时的特点。激光探针法具有样品处理简单、用量少、速度快和可作原位分析等优点。激光探针法的使用为地幔氧同位素系统的研究勾画了一幅新的图景；在微区同位素分析、交换反应动力学等方面也展示了良好的应用前景